硅与其他。资料中半导体 。集成资料在。电路集成电路。比较使用中的资料中比较可从以下维度打开剖析:
一、根底特性比照。集成
资料 。 | 带隙(eV)。比较 | 电子迁移率(cm²/(V·s)) 。资料中 | 热导率(W/(m·K))。集成 | 击穿电场(MV/cm)。电路 |
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。比较硅(Si) 。资料中。集成 | 1.12。电路 | 1500。 | 150。 | 0.3 。 |
锗(Ge) 。 | 0.67 。 | 3900 。 | 60。 | 0.1。 |
砷化镓(GaAs) 。 | 1.42 。 | 8500。 | 55。 | 0.4。 |
碳化硅(SiC)。 | 3.26。 | 900。 | 490 。 | 3.0。 |
氮化镓 。(GaN) 。 | 3.4。 | 2000 。 | 130。 | 3.3 。 |
二、中心优势范畴 。
。硅资料 。。
。干流逻辑芯片 。 :全球95%的集成电路选用硅基制作,因其本钱低(12英寸晶圆本钱仅为砷化镓的1/10)、工艺老练(支撑3nm制程)14。
。集成度优势。:硅晶圆直径可达300mm,单晶缺点率低于0.1/cm² ,合适超大规模集成814 。
。氧化层特性 。 :天然生成的SiO₂绝缘层(介电常数3.9)是 。MOSFET 。器材的抱负介质28 。
。化合物半导体